两步扩散法提高S i 太阳电池效率的研究

zhangcunbiao

两步扩散法提高S i 太阳电池效率的研究  
( 华中理工大学电子科学与技 术系)  

摘 要 提出先高温恒定源扩散后再低温恒量扩 散的两步扩散法制作 s l 背面场太阳电池的新工艺． 与常规
的一步恒定源扩散工艺比较 ， 所 制作 的太阳电池短路 电流  提 高了约 2 0   ， 开路 电压 y  也有明显的改善，  
光电转换效率提高 了近 4   ．  
关键词  太阳电池 ； 扩散 ； 效 率； 缺 陷复台
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