有关硝酸和氢氟酸混合溶液腐蚀硅片的问题！

huafei920

11月29日，用硝酸和氢氟酸配制溶液腐蚀硅片，腐蚀后硅片表面比较干净，无任何斑纹，将剩余溶液存储在密闭容器中；
12月9日，将剩余溶液取出继续腐蚀硅片，但腐蚀后硅片表面开始出现不规则斑纹，补加一定量的硝酸和氢氟酸，斑纹仍然存在。
有以下疑问：1、硝酸和氢氟酸的混合酸溶液存储在密闭容器中，混合酸溶液中的各自成分及比例是否会发生变化？
2、硅片表面的斑纹是如何产生的？能否消除？

大家能否帮解答一下，谢谢！

硅片表面有一层异物覆盖1

硅片表面有一层异物覆盖2

载片盒印

chenyu511511

表面的差异，从微观上看，是存在腐蚀不均匀造成。两个可能方面，一个是溶液使用久了，失效了的可能。反应产生的氟硅酸聚合，不均匀吸附在硅片造成腐蚀差异化。另一个，是温度的控制，低温容易吸附。

juegai

楼上正解啊，赞

huafei920

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